2.2 機器放電模式 (Machine Model, MM)

　　機器放電模式的ESD是指機器(例如機械手臂)本身累積

了靜電，當此機器去碰觸到IC時，該靜電便經由IC的pin放

電。此機器放電模式的工業測試標準為 EIAJ-IC-121 method

20，其等效電路圖如圖2.2-1所示。


Test Standard : EIAJ-IC-121 Method 20
CLASS STRESS LEVELS
M0 0 to <50V
M1 50 to <100V
M2 100 to <200V
M3 200 to <400V
M4 400 to <800V
M5 >800V

圖2.2-1 機器放電模式(MM)的工業標準測試等效電路及其耐壓能力等級分類

　　因為大多數機器都是用金屬製造的，其機器放電模式

的等效電阻為0Ω，但其等效電容定為200pF。由於機器放

電模式的等效電阻為0，故其放電的過程更短，在幾毫微

秒到幾十毫微秒之內會有數安培的瞬間放電電流產生。有

關2-KV HBM與200-V MM的放電電流比較，顯示於圖2.2-2

中。

　　雖然HBM的電壓2 KV比MM的電壓200V來得大，但是

200-V MM的放電電流卻比2-KV HBM的放電電流來得大很

多，因此機器放電模式對IC的破壞力更大。在圖2.2-2中，

該200-V MM的放電電流波形有上下振動(Ring)的情形，是

因為測試機台導線的雜散等效電感與電容互相耦合而引起

的。


圖2.2-2 人體放電模式(2-KV) 與機器放電模式(200V) 放電電流的比較圖

另外在國際電子工業標準 (EIA/JEDEC STANDARD) 中，

 亦對此機器放電模式訂定測試規範 (EIA/JESD22-A115-A)

 ，詳細情形請參閱該工業標準。